Die Abkürzung AMO steht für Angewandte Mikro- und Optoelektronik. Ich durfte vor Kurzem gemeinsam mit Ramona Fels, Geschäftsführerin der JRF, den Reinraum unter die Lupe nehmen und in die Welt der Nanotechnologie eintauchen. Das Forschungsteam für Nanotechnologie entwickelt neuste Technologien für die Anwendungsfelder Nanoelektronik, Photonik, Sensorik, Diagnostik, Energie und Umwelt. In dem 400 Quadratmeter großen, innovativen und hochtechnisierten Reinraum werden Prototypen entwickelt und die gesamte Prozesskette kann abgebildet werden.

Materialschichten im Nanobereich

Beeindruckt hat mich die Vielfalt und Präzision der Techniken, mit denen die Materialschichten im Nanobereich aufgetragen werden. Zudem konnte ich einen Eindruck von den innovativen Messtechnik-Anlagen erhalten, die zur Prozesskontrolle eingesetzt werden und z.B. die Schichtdicke, die Rauigkeit und den Schichtaufbau messen.

Herzlichen Dank an Prof. Dr. Max Christian Lemme für die spannenden Einblicke!

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